特点:
1. 采用全封闭式铝型材结构,将磁铁及磁轭部分完全与靶筒内的冷却水分隔开,避免因长期浸水腐蚀引起的磁场变化
2. 型材式结构大幅加强了磁钢的刚性,避免磁钢变形与靶筒发生摩擦产生的磁场变化
3. 磁场调整结构采用螺纹式设计,使得磁场均匀性的调整更加精密
4. 出水孔的独特设计使冷却水有效冷却溅射靶材的高温区,冷却效果更佳
5. 安装维护简易方便
类型 参数 |
MB3300 |
MB2540 |
MB1400 |
磁棒长度(mm) |
3850 |
3192 |
1920 |
表面磁场强度 |
>550GS |
||
磁场均匀性 |
≤±1.0% |
||
磁场可调范围 |
≤±25% |