北玻镀膜水平式建筑镀膜线,采用磁控溅射沉积技术,在玻璃表面沉积一系列介质和金属薄膜,主要用于加工各种low-E玻璃、AR膜,以及阳光控制玻璃等。
技术参数
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SE2540H系列 |
SE3300H系列 |
基片 |
浮法玻璃,钢化玻璃,夹胶玻璃等 |
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基片尺寸 |
Max. 2540×3660mm(可定制) |
Max. 3300×6000mm(可定制) |
基片厚度 |
3-19mm(可定制) |
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机械节拍 |
> 20s |
> 30s |
极限真空 |
< 2E-6mbar |
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有效运行时间 |
> 95% |
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膜层均匀性 |
≤±1.0% |
设备特点:
1. 溅射室由一系列结构相同的795mm井位单元构成
2. 泵井位采用独特的气体隔离装置
3. 应用新一代以铝型材为支撑结构的可调式磁棒
4. 设计5-9段辅助工艺气体分配系统,每一段可以选择不同类型的气体
5. 采用伺服电机控制,实现传输的高精度控制。
6. 不断缩小进/出口室腔体体积,提高节拍,降低成本
7. 工艺气体分配系统集成在阴极盖板上
8. 每一个阴极单元都配有独立的控制系统
9. 前后室采用整体式盖板设计,可实现机械提升和液压提升
10. 镀膜区采用磁悬浮分子泵和干泵