中文 ENG
首页 > 产品解决方案 > 溅射器件

           北玻镀膜设计开发了三种系列端头,包括:EB-CAC系列、EB-CB系列和EB-CS系列,以满足不同领域客户的需求。北玻镀膜通过不断的设计改良,实现了端头的创新性设计,客户只要经过专业的培训,便可以在设备现场自己进行端头的保养和维修,极大降低了客户的维护、维修和时间成本。




    EB-CAC系列


    EB-CAC系列采用双端设计,即每对端头分别由一个水电端头和一个驱动端头构成。 该系列端头适用于对称式镀膜线。



    EB-CB系列


    EB-CB系列采用单端设计,即将水电引入和驱动集成在一个端头上,而另一个端头只起支撑作用。该系列端头适用于非对称式镀膜线。



    EB-CS系列


    EB-CS系列采用单端设计,即将水电引入和驱动集成在一个端头上,而另一个端头只起支撑作用。该系列端头采用向下安装方式,对于靶基距的调节非常方便。



    系列

    类型

    电流-频率

    转速

    靶筒直径

    靶筒长度

    安全电压

    EB-CAC

    双端

    ≤320A

    ≤40kHZ

    ≤30r/min

    ≤155mm

    ≤3900mm

    <1500V

    EB-CB

    单端

    ≤320A

    ≤40kHZ

    ≤30r/min

    ≤155mm

    ≤3900mm

    <1500V

    EB-CS

    单端

    ≤225A

    ≤40kHZ

    ≤30r/min

    ≤155mm

    ≤2500mm

    <1500V