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北玻镀膜立式镀膜线,采用磁控溅射沉积技术,在玻璃表面沉积透明导电(TCO)薄膜(如ITO、AZO等),主要用于加工显示用镀膜玻璃,如触摸屏、手机屏、显示屏等。


技术信息

基片尺寸
可定制
基片厚度
可定制
机械节拍
可定制
极限真空

< 2E-6mbar

基片加热
Max.350℃
基片预处理
线性离子源
镀膜技术
直流平面阴极、中频旋转阴极


设备特点:

1. 颗粒物污染小

2. 占地面积小

3. 工艺气氛可调节

4. 多段加热,温度更均匀

5. 换靶及维护便捷

6. 多腔体模块化设计