北玻镀膜立式镀膜线,采用磁控溅射沉积技术,在玻璃表面沉积透明导电(TCO)薄膜(如ITO、AZO等),主要用于加工显示用镀膜玻璃,如触摸屏、手机屏、显示屏等。
技术信息
基片尺寸 |
可定制 |
基片厚度 |
可定制 |
机械节拍 |
可定制 |
极限真空 |
< 2E-6mbar |
基片加热 |
Max.350℃ |
基片预处理 |
线性离子源 |
镀膜技术 |
直流平面阴极、中频旋转阴极 |
设备特点:
1. 颗粒物污染小
2. 占地面积小
3. 工艺气氛可调节
4. 多段加热,温度更均匀
5. 换靶及维护便捷
6. 多腔体模块化设计