磁棒
采用全封闭式铝型材结构,将磁铁及磁轭部分完全与靶筒内的冷却水分隔开,避免因长期浸水腐蚀引起的磁场变化;型材式结构大幅加强了磁棒的刚性,避免磁棒变形与靶筒发生摩擦产生的磁场变化;磁场调整更便捷;出水孔的出水直接射向溅射靶材高温区,冷却效果更佳;安装维护简易方便点。
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