真空镀膜技术公司
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北玻真空镀膜线全球销量超30台
低辐射镀膜线(上海)
低辐射镀膜线(洛阳)
低辐射镀膜线(天津)
产品列表
出口室
配置一个大盖板,采用液压升起;采用下沉式盖板和填充设计,有效地压缩抽气空间;盖板顶部配置进气系统,进气气流稳定。
泵组
镀膜线配置高端品牌真空泵组,包括:旋片泵、罗茨泵、螺杆泵、磁浮分子泵。
溅射阴极器件
北玻提供旋转阴极和平面阴极(含盖板、工艺气路)的完整阴极总成。溅射器件可根据镀膜线的实际井位尺寸进行定制,方便客户进行镀膜系统设计集成。具有本地操作控制和远程操控两种模式,可根据需要选择数字量总线或模拟量I/O接口与镀膜系统通讯。
工艺室
工艺室由多个结构完全相同的工艺模块构成。每个工艺模块沿传输方向被划分为多个工艺井位。每个工艺井位可作为阴极位、泵位或预留阴极位使用。每个工艺井位在操作侧配有观察窗,并且阴极位的观察窗带有遮挡板,防止污染。工艺井位的上部有法兰连接的盖板,可通过吊车升起。冷却水、测量探头等通过法兰与腔体或盖板与设备相连。
低辐射镀膜线
真空镀膜水平式镀膜线,采用磁控溅射沉积技术,在玻璃表面沉积一系列介质和金属薄膜,主要用于加工各种low-e玻璃、阳光控制膜玻璃、Ar膜等建筑玻璃,也可用于汽车玻璃镀膜和铝镜面镀膜。
阴极
北玻提供旋转阴极和平面阴极(含盖板、工艺气路)的完整阴极总成。溅射器件可根据镀膜线的实际井位尺寸进行定制,方便客户进行镀膜系统设计集成。具有本地操作控制和远程操作控制两种模式,可根据需要选择数字量总线或模拟量I/O接口与镀膜系统通讯。
磁棒
采用全封闭式铝型材结构,将磁铁及磁轭部分完全与靶筒内的冷却水分隔开,避免因长期浸水腐蚀引起的磁场变化;型材式结构大幅加强了磁棒的刚性,避免磁棒变形与靶筒发生摩擦产生的磁场变化;磁场调整更便捷;出水孔的出水直接射向溅射靶材高温区,冷却效果更佳;安装维护简易方便。
端头
提供紧凑型和标准型端头,采用标准接口设计,兼容性强;紧凑型端头结构紧凑、占空小、成本低,标准型端头,性能更加稳定、维护方便快捷;内嵌式碳刷设计有效增加电流通过表面积,提高端头最大耐受电流及高功率运行的稳定性;机械密封式设计,避免渗水现象,大大延长了端头的使用寿命;目前有1000个以上的端头在各个现场稳定运行。
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