阴极
北玻提供旋转阴极和平面阴极（含盖板、工艺气路）的完整阴极总成。溅射器件可根据镀膜线的实际井位尺寸进行定制，方便客户进行镀膜系统设计集成。具有本地操作控制和远程操作控制两种模式，可根据需要选择数字量总线或模拟量I/O接口与镀膜系统通讯。
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